钝化液配方热解法淀积三氧化二铝膜的性质与衬底温度关系很大。如在250℃时淀积，薄膜与衬底粘附性差，易于刮去，如在400℃时淀积，则膜与衬底粘结---。热解淀积三氧化二铝薄膜的装置示于图5-4。用干氮通过170℃的ai(oc3h7)3蒸发器，ai(oc3h7)3蒸气压为50毫米柱，然后与大量的氮气混合，进入钟罩反应室，铜钝化表面处理哪里有，气体混合物产生热解反应生成三氧化二铝膜。一般淀积温度为420。c，典型的淀积速率为200埃/分，如在淀积时同时通入氧气，则淀积速率将降低。
1、采用无机酸为主氧化剂、并添加一定量的柠檬酸、肌醇脂六磷酸脂、和聚合型腐蚀复配而成，不含酸蚀成份，符合当今 rohs 标准。
2、无色、无味、常温使用，在使用过程中能够稳定保持物质的价态，钝化溶液更稳定、快速。
3、不含重金属等---，常温使用，铜钝化表面处理好不好，比同类产品成膜快2-4倍。
4、处理面积大，时间短，综合使用成本低。
5、可循环使用，减少了设备的投入。
钝化，金属由于介质的作用生成的腐蚀产物如果具有致密的结构，形成了一层薄膜（往往是看不见的），紧密覆盖在金属的表面，则改变了金属的表面状态，使金属的电极电位---向正方向跃变，铜钝化表面处理，而成为耐蚀的钝态。如fe***fe2+时标准电位为－0.44v，钝化后跃变到+0.5～1v，而显示出耐腐蚀的性能，这层薄膜就叫钝化膜。金属的钝化也可能是自发过程（如在金属的表面生成一层难溶解的化合物，即氧化物膜）。
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